Mikrobereichsanalysen

  • Kopfzeilen-Bild
Metalloberfläche mit verschiedenen Phasen (BSE) und Punktanalysen.
Metalloberfläche mit verschiedenen Phasen (BSE) und Punktanalysen.

Mikrobereichsanalysen

Dabei wird nur eine Stelle der Probe analysiert. Durch die Intensität des Elektronenstrahls und durch die Einstellung der Beschleunigungsspannung kann in beschränktem Mass die laterale Ausdehnung und die Eindringtiefe gesteuert werden.

Bei sehr kleinen Strukturen im Bereich von 1 Mikrometer oder weniger besteht die Gefahr, dass auch der Bereich unmittelbar neben oder unterhalb des interessierenden Bereiches mitanalysiert wird.

Die Kombination von Morphologie und einer Anzahl sorgfältig gewählter Punktanalysen stellt oft ein einfaches Mittel dar zur Charakterisierung inhomogener Materialien.